晶圆是半导体制造中的关键材料，非常脆弱，容易受到振动、温度变化和污染的影响。因此，晶圆传输对精度、速度和洁净度要求极高，任何微小振动或定位偏差都可能导致产品良率下降。尤其是随着300mm以上晶圆和2.5D/3D封装技术的发展，对伺服系统提出了更高要求。

Elmo作为全球知名的运动控制系统及运动控制解决方案供应商，拥有SimpIIQ、Gold、Platinum和Titanium等多个系列伺服驱动系列产品，可以为半导体制造工艺全流程提供高性能驱动控制解决方案。

为什么选择Elmo伺服系统?

以Elmo大功率伺服驱动器Platinum系列为例，该系列在速度、伺服性能、带宽、精度和控制能力上，相对于Elmo明星产品Gold系列都做了大幅升级，可以更好地满足晶圆传输对运动控制的严苛要求。

小身材大能量满足微缩工艺

以Elmo Platinum Twitter驱动器为例，最小尺寸为35 x 30 mm，仅有一个火柴盒的大小，完全满足半导体制作工序持续微缩的需求，同时可提供最高5600W的连续功率，确保晶圆在传输过程中高效可靠。

纳米级运动控制实现精准定位

采用高分辨率编码器和先进电流环控制技术，搭配Platinum Maestro先进的双核运动控制技术，实现纳米级精度的运动控制。

多轴协同控制提升传输效率

支持EtherCAT总线通讯，循环时间可达100 us，高协同性，可忽略的抖动和近乎零延迟。

抖动抑制技术保证脆性材料稳定传输

通过谐波补偿算法，将静止位置波动控制在极其微小的范围以内，确保晶圆在传输时的稳定性。

监测和分析伺服驱动器的各项特点和功能

通过EASII软件编写程序，维护和分析运动过程，EASII还可以配置程序，轻松实现运动控制配置、驱动调整、参数记录等。

目前，Elmo开发了最新一代基于氮化镓功率开关技术的Titanium系列，该系列驱动器的开关应用材料做了全新升级，相对于传统的开关控制器，在开关频率和输出的功率上得到了进一步的提升，在尽可能节省空间的情况下，能够近一步提升运动控制的效率，节约成本，相信随着Titanium系列的上市及更多实际应用，未来将重塑半导体制造新驱动。

关于Elmo

埃莫(Elmo)公司总部位于以色列，在美国、中国、德国、意大利、韩国、波兰和英国设有办事处，是高性能运动控制技术的全球领导者。

我们提供完整的运动解决方案，设计并制造尖端伺服驱动器，基于网络的多轴运动控制器和集成伺服电机。所有产品均可通过埃莫先进且简单易用的世界一流软件工具整定和配置。凭借令人赞叹的先进技术，我们致力于推动全球的运动控制行业的发展，迄今已有数百万台驱动装置运行在世界各地，从工业到航空，从半导体到激光，从机器人到无人驾驶，有效提升各行业的机器性能。自2022年起，Elmo成为博世力士乐旗下公司 。